精密洗浄の最先端テクノロジーを提供する株式会社プレテック

ウェハー横置き、枚葉式ファインジェット方式の採用で高い洗浄能力を実現。スピンソニッククリーナーは、サブミクロンのパーティクルまでも取り除きます。
さらに工程数をカットし、薬液管理およびヒーターが不要に。
洗浄時間の短縮、ランニングコストの節約などを可能とするすぐれたパフォーマンスを発揮します。

	薬液対応ファインジェット＆400kHzファインジェットにより高い洗浄能力を実現。

	非接触洗浄(ブラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現。

	１ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に。

	完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット。

	機能別のユニット構成により設置面積のコンパクト化と自由度の高いレイアウトを実現。