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スピンソニッククリーナー

サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄。
ウェハー横置き、枚葉式ファインジェット方式の採用で 高い洗浄能力を実現。スピンソニッククリーナーは、 サブミクロンのパーティクルまでも取り除きます。
さらに工程数をカットし、薬液管理およびヒーターが不要に。
洗浄時間の短縮、ランニングコストの節約などを可能 とするすぐれたパフォーマンスを発揮します。
特徴
薬液対応ファインジェット&400kHzファインジェットにより高い洗浄能力を実現。
非接触洗浄(ブラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現。
1ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に。
完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット。
機能別のユニット構成により設置面積のコンパクト化と自由度の高いレイアウトを実現。
用途
エピ前後の洗浄。
CMP後の洗浄。
ポリッシング後の洗浄。
アニール前の洗浄。
CVD、窒化膜、酸化膜等の成膜前後の洗浄。
最新のスーパークリーンシステムが大きな効率アップを実現
スピンチャンバー ファインジェットノズル ファインジェット発振器
スピンチャンバー ファインジェットノズル ファインジェット発振器
薬液供給ユニット 搬送ロボット ロード/アンロードユニット
薬液供給ユニット 搬送ロボット ロード/アンロードユニット
スピンソニッククリーナーの洗浄プロセス例


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