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カセットレス洗浄装置

品質と省エネを高い次元で両立。半導体洗浄のリーディング・テクノロジー。

ロボット搬送がスムーズでチッピングが生じない、大幅なランニングコストの低減が可能。
しかもファインソニック使用で、さらに品質向上。
数々のスーパークリーンテクノロジーを採用したカセットレス洗浄装置は、洗浄におけるカセットの問題点をすべて解決する半導体洗浄の決定版です。
特徴
カセット接触部の洗浄ムラも解消。
少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに。
消費電力を大幅にカット。
槽間移動時の薬液量を少量化。
ファインソニック(高周波発振器/振動子)を使用。ダメージを与えることなくパーティクルの除去が可能。
カセットレス洗浄装置の洗浄プロセス例
いたるところにスーパークリーンテクノロジーを採用した最先端システム
搬送ロボット
搬送ロボット
槽 ローダー アンローダー 配管
槽 ローダー アンローダー 配管

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