精密洗浄の最先端テクノロジーを提供する 株式会社プレテック

サイトマップ 英語サイト
  • 企業情報
  • 製品情報
  • 採用情報
  • お問い合わせ
  • トップページに戻る
トップページ > 製品情報 > ファインシリーズ洗浄ユニット

ファインシリーズ洗浄ユニット

サブミクロンのパーティクルを750kHz~3.0Mhzの高周波で
ダメージレス洗浄。
ファインソニック
PT-08MFC/PT-16M20
特徴・用途
750kHzを使用したバッチ式洗浄ユニットです。
特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させ ワークにダメージを与えずにサブミクロンのパーティクルを除去。
シリコンウェハー、フォトマスク、磁気ディスクの洗浄に最適です。

お問い合わせは
こちら
ファインジェット
PT-005J20/PT-005J30/PT-010J10
特徴・用途
4Φノズル先端より400kHz1.5 MHzまたは3.0MHzの音波をのせた純水を噴射し洗浄します。
毎分0.8〜1.5リットルの流量で洗浄。空中で洗浄するため再汚染がなく、サブミクロンのパーティクルが除去できます。
シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄に最適です。
薬液対応、高出力100Wのファインジェットもご用意しております。

お問い合わせはこちら
ファインスコール
PT-08SQ/PT-08SQH
特徴・用途
2mm幅のノズルスリットより1.5MHzの音波をのせた超純水を噴射し洗浄します。
洗浄エリアは250〜2,210mmまでワークに合ったサイズを選択可能。
バータイプのため高スループットでサブミクロンのパーティクルが洗浄できます。
有機ELやTFT/CF等の大型ガラス基板に最適。
枚葉式装置にも取付可能です。
次世代サイズ開発中。

お問い合わせはこちら
ページ先頭へ
株式会社プレテック
東京本社 :〒183-0055 東京都府中市府中町2-1-14 京王府中 2丁目ビル
静岡製作所:〒425-0066 静岡県焼津市大島1143