プレテックの強み

産学共同で取り組む最先端研究開発

技術革新の激しい半導体ウェハー・デバイス・フォトマスクや液晶の分野の中で高い競争力を維持・拡大していくためには、高次元の技術を兼ね備えた製品をスピーディーに開発・製品化していくことが不可欠です。プレテックでは、産官学連携による研究開発を強化し、極めて高度な技術サポートを受けながら、最先端の技術・理論に裏打ちされた新製品の開発を進めています。

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顧客満足を最大化させる生産体制のしくみ

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技術革新の激しい半導体ウェハー・デバイス・フォトマスクや液晶の分野の中で高い競争力を維持・拡大していくためには、高次元の技術を兼ね備えた製品をスピーディーに開発・製品化していくことが不可欠です。プレテックでは、産官学連携による研究開発を強化し、極めて高度な技術サポートを受けながら、最先端の技術・理論に裏打ちされた新製品の開発を進めています。

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"超"のつく品質をつくる技術

精密洗浄装置を製作する中で、高い洗浄力・信頼性を得るには高い技術力が必要です。一口に技術力と言ってもプレテックが提供する製品には、高度な要素技術が複合的に組み込まれています。例えば、半導体ウェハーのパーティクルをサブミクロンまで除去するカセットレス洗浄装置。このウルトラクリーンテクノロジーを採用した最先端システムでは、超音波技術、洗浄プロセス技術、設計・制御技術など世界最高水準の技術が複合的に組み込まれています。より高い洗浄効果、基板単位面積当たりの水・薬品使用量の削減、消費電力の削減、工程数・タクトタイムの短縮、装置設置面積の縮小など様々なソリューションを提供し、工場の生産効率向上と環境負荷低減の両立を実現しています。

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制御技術

繊細な取り扱いが要求されるシリコンウェハー。高精度のメカニカルな制御技術を駆使し、カセットを使用せず直接ハンドリングすることで高度な洗浄を実現しています。

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配管技術

長年の研究の成果により、シリコンウェハーの洗浄に必須なテフロン配管の信頼性と機能性を向上し、清浄度の高い洗浄システムを可能にしています。

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プロセス技術

各種精密洗浄における多様化した洗浄プロセスに常に即応した、最適かつ効率的な洗浄技術を提供できる体制を構築しております。