ディスク洗浄装置
バッチ洗浄とブラシ洗浄の組み合わせで
ハイクオリティな洗浄を実現。
メモリーディスク、液晶ガラスの洗浄に大きな効果を発揮します。
カセットレス方式の採用で洗浄能力の向上と省エネルギー化を実現。
バッチ洗浄ユニットとブラシ洗浄ユニットの組み合わせは自在にできます。
特長
カセットレス方式の採用によりバッチ洗浄とブラシ洗浄が一つの装置で可能です。
ブラシ洗浄部はサンドスクラブ方式のため両面同時洗浄が可能です。
バッチ洗浄部は用途に合わせて弊社のバリエーション豊富な超音波洗浄ユニットを選択でき、最適な周波数でダメージを与えずにパーティクルを除去できます。
用途
メモリーディスク（アルミ／ガラス）
液晶（TFT／CF）
半導体（シリコンウェハー）
ブラシ洗浄装置の洗浄プロセス例
